奧林巴斯OLS5100激光共聚焦顯微鏡

適用于故障分析和材料工程研究的奧林巴斯OLS5100激光顯微鏡將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速高效精確測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。

  • 品牌: 奧林巴斯/OLYMPUS
  • 型號(hào): OLS5100
  • 類型: 金相顯微鏡

LEXT? OLS5100 3D激光掃描顯微鏡

用于材料分析的激光顯微鏡

更智能的工作流程,更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)

適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速高效精確測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。

奧林巴斯顯微鏡

保證測(cè)量準(zhǔn)確度

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。

有保證的測(cè)量準(zhǔn)確度*

奧林巴斯的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場(chǎng)中捕捉樣品的真實(shí)形貌

智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量

奧林巴斯顯微鏡


*本網(wǎng)頁(yè)上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。



型號(hào)OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
總倍率54x–17,280x
視場(chǎng)16 μm–5,120 μm
測(cè)量原理光學(xué)系統(tǒng)反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC
光接收元件激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機(jī)
高度測(cè)量顯示分辨率0.5 nm
動(dòng)態(tài)范圍16位
重復(fù)性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm
準(zhǔn)確度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:測(cè)量長(zhǎng)度[μm])
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm])
測(cè)量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *51 nm(典型值)
寬度測(cè)量顯示分辨率1 nm

重復(fù)性3σn-1  *1 *2 *55X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm

準(zhǔn)確度*1 *3 *5測(cè)量值+/- 1.5%

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長(zhǎng)度[mm])
單次測(cè)量時(shí)最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量4096 × 4096像素
最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量3600萬(wàn)像素
XY載物臺(tái)配置長(zhǎng)度測(cè)量模塊?不適用不適用?
工作范圍100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
最大樣品高度100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)30 mm (1.2 in.)30 mm (1.2 in.)210 mm (8.3 in.)
激光光源波長(zhǎng)405 nm
最大輸出0.95 mW
激光等級(jí)2級(jí)(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W
質(zhì)量顯微鏡主體約 31 kg約 32 kg約 50 kg約 43 kg
控制箱約 12 kg



*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證(溫度:20?C±1?C,濕度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所規(guī)定。

*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí)倍率20x或更高。

*3 在使用專用LEXT物鏡測(cè)量時(shí)。

*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。

*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。


物鏡

系列型號(hào)數(shù)值孔徑
(NA)
工作距離(WD)
(mm)
UIS2物鏡MPLFLN2.5x0.0810.7
MPLFLN5x0.1520
專用LEXT物鏡(10X)MPLFLN10xLEXT0.310.4
專用LEXT物鏡(高性能型)MPLAPON20xLEXT0.61
MPLAPON50xLEXT0.950.35
MPLAPON100xLEXT0.950.35
專用LEXT物鏡(長(zhǎng)工作距離型)LMPLFLN20xLEXT0.456.5
LMPLFLN50xLEXT0.65.2
LMPLFLN100xLEXT0.83.4
超長(zhǎng)工作距離物鏡SLMPLN20x0.2525
SLMPLN50x0.3518
SLMPLN100x0.67.6
適用于LCD樣品的長(zhǎng)工作距離物鏡LCPLFLN20xLCD0.458.3-7.4
LCPLFLN50xLCD0.73.0-2.2
LCPLFLN100xLCD0.851.2-0.9


應(yīng)用軟件


標(biāo)準(zhǔn)軟件OLS51-BSW
數(shù)據(jù)采集app分析應(yīng)用程序(簡(jiǎn)單分析)
電動(dòng)載物臺(tái)套件應(yīng)用*1OLS50-S-MSP
高級(jí)分析應(yīng)用*2OLS50-S-AA
薄膜厚度測(cè)量應(yīng)用OLS50-S-FT
自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用OLS50-S-ED
顆粒物分析應(yīng)用OLS50-S-PA
智能實(shí)驗(yàn)管理助手應(yīng)用OLS51-S-ETA
球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用OLS50-S-SA

*1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。

*2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。